ЗАО «НТО»

ЗАО «НТО»

ЗАО «НТО» более 20 лет разрабатывает и производит вакуумное оборудование для микроэлектронной промышленности. В 2014 году на рынок была выпущена серия установок STE ICP200, предназначенная для реализации технологических процессов создания СВЧ ЭКБ на основе материалов A3B5, микро- и оптоэлектроники на подложках до 200 мм в следующих конфигурациях:

  • STE ICP200EF/ STE ICP200EC - установки плазмохимического травления полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда с использованием фторной/хлорной химии;
  • STE ICP200D/STE PECVD200 - установки для проведения процессов плазмохимического осаждения диэлектриков (Si3N4, SiO2 и т.п.) в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда (ICP-PECVD)/классического PECVD.

В последние годы ЗАО «НТО» активно инвестировало в развитие данной линейки плазмохимического оборудования, в частности:

  • В 2016 году проведена модернизация установок серии STE ICP200 – усовершенствована конфигурация, оптимизирована эргономика для удобства работы и обслуживания конечным пользователем.
  • В 2018-2020 гг. с целью снижения импортозависимости от зарубежных поставщиков проведена локализация производства ключевых узлов и комплектующих, что позволило снизить цену установок на 10-15% в зависимости от комплектации. В 2019 году, в частности, были разработаны новый емкостной электрод установки плазмохимического травления STE ICP200E, а также система интерферометрического контроля процессов травления и осаждения.

Силами технологов Прикладной лаборатории ЗАО «НТО» разработана обширная библиотека базовых технологических процессов, которая продолжает постоянно расширяться. Базовые технологические процессы поставляются вместе с установками серии STE ICP200, что позволяет обеспечить быстрый технологический запуск оборудования и выгодно отличает отечественную разработку на рынке. При этом технические параметры оборудования находятся на уровне лучших мировых аналогов.

Предлагаемое ЗАО «НТО» соотношение ЦЕНА-КАЧЕСТВО-БАЗОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ-СЕРВИС не имеет аналогов в России и на зарубежных рынках. ЗАО «НТО» имеет репутацию разработчика с глубоким пониманием конструкции оборудования, опытом создания оптимальной конфигурации сверхвысоковакуумной технологической системы под индивидуальные задачи заказчиков.

За 2019-2022 году в ЗАО «НТО» была законтрактована поставка 16 установок серии STE ICP200 на сумму более 430 млн. руб., из них 5 установок поставлено на экспорт. Портфель потенциальных заказов на 2022-2024 гг. составляет более 25 установок на сумму превышающую 600 млн. руб.

Таким образом, финансовые показатели ЗАО «НТО» последних трех лет показывают востребованность установок серии STE ICP200 на российском рынке, а также наличие экспортного потенциала данной разработки.