Группа компаний GNgroup присоединится к экспозиции ExpoElectronica 2024

GNfab представит настольную установку контроля привнесенной дефектности Aura

Также специалисты поделятся информацией по разработкам оборудования в рамках концепции проекта FAB 100 / 150, проекта по созданию технологического оборудования для кристальных производств. Он включает в себя три ключевых положения:

Применение пластин диаметром 100 и 150 мм
Применение герметичных контейнеров
Стандартизированные модули загрузки-выгрузки

В перечень оборудования, которое разрабатывается в рамках проекта FAB 100 / 150, входит:

герметичный контейнер;
однопозиционный атмосферный модуль загрузки-выгрузки (АМЗВ);
однопозиционный вакуумный модуль загрузки-выгрузки (ВМЗВ);
многопозиционный вакуумный модуль загрузки-выгрузки (ВМЗВМП);
установка контроля привнесенной дефектности (cерия Aura);
установка травления фоторезиста в удаленной плазме (серия Vega);
установка многослойной металлизации (серия Feba);
установка CVD-осаждения покрытий (серия Clio);
установка PVD-осаждения покрытий (серия Gera);
установка плазмохимического травления (серия Keto).

В настоящий момент ведется выпуск опытных партий контейнера, модулей загрузки-выгрузки, установки контроля привнесенной дефектности Aura и установки травления фоторезиста Vega. Плановый срок готовности демонстрационных образцов – март-июнь 2024 года.

Компания Gntech представить напольную плазменную установку для решений очистки поверхности, а также первую в России подобную установку для медицинских учреждений.

Компания представит продукцию по материалам для микроэлектроники: подложки под металлизацию, микроволновую керамику, нанесение металлизации, нанесение финишных покрытий, корпуса для интегральных микросхем.