Универсальное оборудование для микроэлектроники: лазерная машина МЛ5-2 от ООО НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ»

Инновационные технологии для точной обработки материалов в микроэлектронике

Машина лазерная МЛ5-2 предназначена для операций ручной, полуавтоматической и автоматической, а также функциональной лазерной подгонки резисторов, выполненных по тонкопленочной и толстопленочной технологии на подложках из поликора, ситалла, сапфира, различной керамики, а также для лазерной балансировки гироскопов и лазерной нормировки кварцевых резонаторов.

Для успешной работы МЛ5-2 применяются высокостабильные одномодовые импульсные волоконные и твердотельные лазеры с диодной накачкой, которые позволяют производить подгонку с высокой точностью и минимальным процентом брака на производстве заказчика. Установка МЛ5-2 работает на собственно разработанном программном обеспечении, позволяющем управлять машинами разных типов: от «ручных» для малосерийных операций до вариантов с многозондовым контактированием и многоосевой кинематикой. МЛ5-2 снабжена оптической системой контроля, виброустойчивым гранитным каркасом, необходимым для исключения риска брака.

Одна из основных задач, которую можно выполнить на МЛ5-2, – подгонка резисторов. Удаление реверсивного слоя, выполняется программой по выбранной оператором траектории реза до необходимого номинала с указанной точностью. Также в установке реализована функция ручной подгонки – траекторию реза оператор формирует с помощью джойстика-манипулятора для управления перемещением лазерного луча, при этом программа контролирует номинал резистивного элемента и при достижении необходимого диапазона отключает лазерное излучение. Подгонка может выполняться с учетом предела отклонения номинала резистора.

Характеристики и инновационная составляющая:

Длина волны излучения – 1,05-1,07мкм; 0,53 мкм (в зависимости от задачи)
Мощность лазерного источника – до 0,5-10 Вт (в зависимости от задачи)
Диаметр лазерного пучка – от 15 до 40 мкм (в зависимости от задачи)
Рабочий ход предметного стола по осям XYZ – до 100х100х6мм
Точность позиционирования по осям XY не более 10 мкм, по оси Z не более 30 мкм
Вакуумное крепление изделий
Высокоскоростная цифровая измерительная система (ЦИС) собственного производства
Машина снабжена оптической системой контроля
Виброустойчивый силовой каркас (опционально гранитное основание для повышения точности обработки)
Подгонка – удаление резистивного слоя – выполняется программой по выбранной оператором траектории реза до необходимого номинала с указанной точностью. Также в установке реализована функция ручной подгонки– траекторию реза оператор формирует с помощью джойстика-манипулятора для управления перемещением лазерного луча, при этом программа контролирует номинал резистивного элемента и при достижении необходимого диапазона отключает лазерное излучение. Подгонка может выполняться с учетом предела отклонения номинала резистора.
Возможность задавать различные траектории реза при подгонке (I, L, J, U-резы), а также формы, заданной чертежом в формате .lml/.lmc..

Нужд и вариативности изделий в микроэлектронике становится больше, а ООО НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ», выпуская серийное оборудование, обеспечивает заказчикам универсальное решение для его производственных задач. При необходимости станок можно доработать в соответствии с техническим заданием.

В процессе производства всегда есть риск получения н-ного процента брака. При больших объёмах производства заводу невыгодно компенсировать бракованную партию выпуском дополнительного тиража. Чтобы минимизировать финансовые и временные затраты, гораздо более выгодным решением может стать использование оборудования, предназначенного для функциональной подгонки – МЛ5-2.

Серийность МЛ5-2 обеспечивает заказчику максимально быстрый процесс приобретения, введения машины в эксплуатацию на производстве и возможность оперативного проведения сервисных мероприятий дистанционно и с выездом службы. Благодаря тому, что МЛ5-2 входит в серию МЛ5, а также за счёт высокого уровня локализации техническое обслуживание происходит быстрее: у ООО НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ» широкая номенклатура производимых запчастей, заказывать которые у сторонних подрядчиков нет необходимости.

ООО НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ» предлагает заказчику не просто машину, а также технологическое решение и подбор режимов обработки конечного изделия, подходящее для конкретного заказчика.