АО «НПП «ЭСТО» разработало транспортный перегрузочный модуль для установки обработки полупроводниковых пластин

В марте 2025 года АО «НПП «ЭСТО» завершило разработку транспортного перегрузочного модуля, созданного в рамках совместной с РФЯЦ-ВНИИЭФ «НИИИС им. Ю.Е. Седакова» разработки установки жидкостно-химической обработки полупроводниковых пластин

АО «НПП «ЭСТО» – одно из ведущих российских научно-производственных предприятий, специализирующихся на разработках и производстве вакуумного технологического оборудования, а также модернизации, продаже и сервисном обслуживании специального технологического оборудования. За 20 лет работы компания зарекомендовала себя как надежный партнёр, создавая высококачественные решения для высокотехнологичных отраслей и развивая российское машиностроение для микроэлектроники.

Проект по созданию модуля перегрузки для установки жидкостной химической обработки стартовал в АО «НПП «ЭСТО» в конце 2023 года. Данное оборудование характеризуется конструктивной сложностью и высокими требованиями к точности.

Транспортный перегрузочный модуль осуществляет автоматизированное перемещение полупроводниковых пластин в буферную зону для дальнейшей их перегрузки в модуль жидкостной химической обработки и обратно. Модуль стыкуется с головным модулем и технологическими модулями и формирует полноценную установку технохимии. Данный транспортный перегрузочный модуль возможно адаптировать для работы с пластинами 100, 150 и 200 мм. Специалисты «ЭСТО» выполнили полный цикл работ: от проектирования и выпуска программного обеспечения до изготовления опытного образца.

Разработка установки жидкостно-химической обработки имеет большую значимость для отечественного рынка микроэлектроники, поскольку в России подобное оборудование не производится, а в условиях санкционных ограничений привозить такое оборудование крайне затруднительно. Налаживание производства оборудования технохимии способствует развитию полупроводниковой промышленности в стране, позволяет закрыть потребности отечественных производителей микроэлектроники и снизить зависимость от зарубежных поставщиков.

Получите бесплатный билет на ExpoElectronica по промокоду

EENEWS