Встречайте новые разработки АО НИИТМ

АО «Научно-исследовательский институт точного машиностроения» разрабатывает и осуществляет поставку широкого спектра исследовательского и промышленного технологического оборудования

Продукция АО «Научно-исследовательский институт точного машиностроения» (входит в ГК «Элемент») включает в себя кластерное оборудование, для реализации технологических процессов нано-, микро- и радиоэлектроники, медицины, солнечной энергетики.

Разработка и производство ХОГФ(CVD)-установок (установок химического осаждения из газовой фазы) и установок плазменной обработки пластин является одним из базовых направлений деятельности НИИ. В этом направлении в АО НИИТМ (ГК «Элемент») началась разработка двух перспективных установок плазмохимической обработки кремниевых пластин диаметром до 200 мм: одна – для осаждения пленок вольфрама, вторая – для пленок SiO2/SiON/SiONGe.

Проект «Изофаз-В», выполняемый в кооперации с АО «НИИМЭ» (ГК «Элемент»), включает в себя разработку экспериментальных и опытных образцов оборудования для проведения процессов химического осаждения вольфрама из газовой фазы.

Проект «Изофаз-Д» также предполагает разработку, сборку и испытание экспериментальных и опытных образцов оборудования для проведения процессов химического осаждения SiO2/SiON/SiONGe из газовой фазы.

Эти инновации укрепят позиции России в области микроэлектроники и послужат усилению технологического суверенитета страны.