ООО «Остек-Электро»

Система для измерения удельного и поверхностного сопротивления ИУС-7Р

Система измерения удельного, поверхностного сопротивления пластин ИУС-7Р является единственной, включенной в реестр российской продукции в соответствии с требованиями 719ПП (878ПП). Внесена в государственный реестр средств измерения как самостоятельный программно-аппаратный комплекс.

При этом каждое из комплектующих этой станции является самостоятельным продуктом, также сертифицированным надлежащим образом (4х зондовая станция Семизонд 4К, Микроомметр Е6-42 и ПО Кристалл).

Ни одна подобная система, кроме ИУС-7Р, не выпускается серийно с кратчайшими сроками поставки.

Сферы применения:

• Микроэлектроника
• Кристальное производство
• Полупроводниковые материалы

Станция применяется для оперативного контроля качества полупроводниковых пластин на предмет однородности и повторяемости электрических параметров.

Измерения четырехзондовым методом удельного и поверхностного сопротивления ИУС-7Р - метрологически аттестованный программно-аппаратный комплекс (ПАК) предназначен для измерения четырехзондовым методом удельного и поверхностного сопротивления на пластинах диаметром до 300 мм.

Особенности:

• Измерения четырехзондовым методом (методом Кельвина) удельного и поверхностного сопротивления полупроводниковых или металлических образцов диаметром до 300 мм.

• Зондовая станция Семизонд (Semizond) 4К

• Микроомметр Е6-42 (внесен в Госреестр СИ РФ)

• ПО «Кристалл» для автоматического расчета удельного и поверхностного сопротивления с учетом размеров образца согласно стандарту ASTM F84-99.

• Диапазон измерений от 4 мОм/□ до 900 МОм/□ для поверхностного сопротивления

• Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УПЭС, % ±1

• Пределы допускаемого отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки